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SORTER

SORTER

晶圆分选机(Wafer Sorter)是半导体晶圆厂中用于晶圆搬运的设备,负责晶圆的中转和分选,确保生产流程的连续性和高效性,保障晶圆厂物料流转需求。

特点:
1.多种洁净机器人选项可满足不同的WPH需求
2.根据客户需求选择定制晶圆承载台数量
3.选配晶圆ID阅读器, 可以进行晶圆的ID读取 
4.支持 SECS/GEM、E84、RFID 等标准协议和技术,成熟稳定的的控制软件

适用晶圆

直径100~300mm

产能(含OCR)

≥150

重量

大约800kg

电源

AC220V±10%、频率 50Hz

正常运行时间

≥98%

平均故障间隔时间
MTBF

4000小时

平均修复时间
MTTR

2小时

平均保养间隔时间
MTBI

6个月

晶圆破损率

100000片中破损少于1片

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