设备前端模块(Equipment Front End Module)指在高洁净环境下，将单片晶圆通过精密机械手传输至工艺、检测模块的晶圆前端传输系统。EFEM从属于半导体生产设备，其中晶圆装载系统（Loadport）、晶圆运输机器人（Robot）、晶圆对准器（Aligner）是最核心的三大部件。

特点：
1.可对接不同类型的多种制程设备，并可针对制程设备要求做出独特的客制化定制
2.包含多种客制化选项，可根据客户需求选择多种拾取方式与多种 LP 组合，满足客户现场亟需的工况需求
3.长期多种类设备的开发经验与丰富的制程设备对接与装机经验，保证产品的可靠性与稳定性
4.整机自框架到模块，软硬件均由富创得生产，交期及兼容性均有可靠保证

参数说明