寻边器(Aligner)
HPA系列为三轴控制之晶圆寻边器,全系列采用HIWIN微型单轴机器人模组,实现高速化、高精度、高刚性、高效率与小体积之优势。
内嵌式控制器设计[All-in-one design),无需额外设置控制器及走线空间,在相等规格条件下,产品体积为业界最小
搭载智能光透型雷射感测器,可支援透明、半透明与不透明等物件的轮廓侦测功能,适用于直径最小2时至最大12吋的晶圆、玻璃等。
产品洁净度等级为Class1,应用范围包含半导体、光电等产业。
最短可于4.9秒内完成晶圆寻边[Wafer align)、晶圆中心与角度等补正动作,同时达成定位[Centering)重复精度±0.1mm°
符合相关安全规范指令,系统提供紧急停止(Emergency stop)功能外,亦即时监控各功能模组,例如马达驱控系统、感测系统、真空系统、循环系统等,提供提供使用者最全面、安全的防护。
友善化设计(User friendly),产品外部提供状态指示灯,使用者可即时掌握产品使用状态,且产品两侧面的内凹设计,提供使用者更加稳定、省力的抓握与搬运。
为使产品生命周期皆尽环保责任,全系列产品取得欧洲环保指令(RoHS2),并使用水污染等级最低(WGK1)润滑脂,且采用环保包材(NBSK)。
产品特点
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