2.先进合理的 SCARA 手臂设计理念
3.业界领先的洁净度 Class 1 等级晶圆传输设备
4.多样化的末端执行器规格选择，便于满足您的各项工况需求
5.可定制的直线模组
6.真空吸附 / 边缘夹持 / 非接触式伯努利吸附等多种晶圆保持方式
7.具有 Smart Move 功能，在最短的距离实现最佳运动轨迹
设备尺寸 Device size | 长340*宽340*高931.2毫米(依配置决定) L340*W340*H931.2mm(Decide by config) |
控制箱尺寸 Control box size | 长425*宽345*高305毫米(依配置决定) L425*W345*H305 mm(Decide by config) |
整备质量 Curb weight | 38～49千克(依配置决定) 38 Kg~49Kg(Decide by config) |
额定电压 Rated voltage | 单相 AC220V Singlephase AC220V |
额定功率 Rated power | 1.1千瓦 1.1 kW |
主体材质Body materia | 铝合金Aluminum |
末端执行器材质 End effectors(EEF) Specif | 陶瓷/铝合金/碳纤维复材 Ceramics/Aluminum /CFRP |
手臂数量Arm qty | 单臂/双臂Single Arm/Double Arm |
气压供应范围 Single shipment | 2负压 VAC-70～-90千帕/正压CDA0.2～0.3兆帕 VAC-70~-90 kPa/CDA0.2～0.3 MPa |
晶圆保持方法 Wafer holding Method | 真空吸附/边缘夹持/伯努利非接触式 VaCUUM/eDGE-GRIPPER/bERNOULL |
纯净度Cleanliness | 最高 Class1@0.1μm MaxClass 1@0.1μm |
Z轴最大速度 Axis-Zmax speed: | 350毫米/秒 350 mm/S |
0轴最大速度 Axis-Theta max speed | 230°/秒 230°/s |
R1&R2轴最大速度 Axis-R1&R2 max speed | 750毫米/秒(非线性运动) 750mm/s(non-line motion) |
θ轴重复定位精度 Axis -θ Repeatable positioning accuracy | 士0.1°
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R1&R2轴重复定位精度 Axis -R1&R2 Repeatable positioningaccuracy | 土0.1mm |
θ轴最大运动范围 Axis-Theta max Range of motion | 340° |
R1&R2最大运动距离 R1&R2 Max stretch | 520~685.5毫米(200毫米晶圆)/600~729.4mm(300毫米晶圆) 520~685.5mm(200mmWafer)/600~729.4mm(300 mm Wafer) |
Z轴最大运动距离 Axis-Z max Range of motion | 单Z轴：300/400/450/500毫米双Z轴：600毫米 Single Axis-Z:300/400/450/500mm Dual Axis-Z:600 mm |
单次运量 Single shipment | 2+1件(300mm FOUP)(依配置决定) VAC-70~-90 kPa/CDA0.2～0.3 MPa |
适用载具类型 Applicable carrier types | SMIF 吊舱、光罩盒、FOUP/FOSB SMIF Pod、Reticle Box、FOUP/FOSB |
最大有效载荷Max. Payload | 15千克15kg |
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