设备前端模块(Equipment Front End Module)指在高洁净环境下，将单片晶圆通过精密机械手传输至工艺、检测模块的晶圆前端传输系统。EFEM从属于半导体生产设备，其中晶圆装载系统（Loadport）、晶圆运输机器人（Robot）、晶圆对准器（Aligner）是最核心的三大部件。

晶圆分选机（Wafer Sorter）是半导体晶圆厂中用于晶圆搬运的设备，负责晶圆的中转和分选，确保生产流程的连续性和高效性，保障晶圆厂物料流转需求。