应用于50 - 450 mm晶圆(2 ~ 18”)洁净室应用，ODM或OEM供应，单、双臂/多片型，快速精密运动机器人，Class 1 洁净度，多种末端执行器:伯努利吸爪 ，边缘夹持，可按需求进行定制