应用于50 - 450 mm晶圆(2 ~ 18”)，洁净室应用，单、双臂机器人，180°手臂平行翻转功能(单翻转或双翻转)，多种末端执行器: 伯努利吸爪 ，边缘夹持，平移（Track）轴，Mapping Sensor（可选），可桉需求进行定制