设备尺寸

Device size

长586*宽472*高1349毫米

L586*W472*H1349 mm

整备质量

Curb weight

66±0.5千克(依配置决定)

66±0.5kg(Decide by config)

额定电压

Rated voltage

DC24V

额定功率

Rated power

120W

主体材质

Body material

铝合金、喷涂碳钢(RAL9003)

Aluminum、PaintedSPCC(RAL9003)

适用载具类型

Applicable carrier types

200/300mm FOUP(SEMI)

噪声

Acoustic Noise

≤60分贝

≤60 dB

通讯接口

Comm interface

串口RS-232C,并行1/O

SerialRS-232C,Parallet /O

通讯协议

Comm protocol

HEX

洁净度

Cleanliness

Class 1@0.1μm

载具负载高度

Carier Load Heigh

900±10毫米

900mm±10mm

气体压力供应

Gas pressure supply

负压：-80 kPa(06气体接口)

VAC:-80kPa (06 air tube)

正压：0.5~0.6 MPa(06气体接口)

CDA:0.5~0.6 MPa(06 air tube)

氮气(选配):0.1~0.2 MPa(08气体接口

N2(Matching):0.1~0.2 MPa(08 air tube)

选配选项

Matching options

氮气置换功能(MFC控制)

N2 purge function(MFC control)

AMHS系统通信端口(E84)

AMHSsystem communication port

机械/电子式信息板

Mechanical control/Electrical control Info Pad

8寸卡匣适配器

200mm cassette adaptor