真空吸附型：以真空负压吸取晶圆、基板进行移栽。 
边缘夹持型：夾持晶圆、基板边缘進行移栽。 
伯努利非接触式型：在晶圆和Chuck之间产生一个压差，晶圆被悬浮在气流之上。