硅片盒/晶圆盒/花篮/半导体IC专用盒/包装盒/承载器-FOUP / FOSB / Wafer SMIF Pod
|硅片盒/晶圆盒/花篮/半导体IC专用盒/包装盒/承载器-PP / PBT / PEI / PC Cassette / Wafer Cassette
制程晶舟 / 晶片花篮 / 晶圆承载 / 半导体花篮 / 晶舟盒 / Wafer Cassette 承载半导体晶圆片/硅片的容器,使用在一般制程站别周转。一般晶片、薄片(薄晶圆/薄硅片) 或加厚晶圆皆有可对应的型号,不同的颜色使用,方便在制程上分站管理,提高生产质量,也可添加防静电材质有效保护晶圆。